1.芯明天二维θx, θz向压电偏摆台
特性
• θx, θz偏摆/旋转,角度位移达±0.3mrad/轴 • zui大承载达60kg • 闭环定位精度高 • 外形坚固 • 响应速度快
2.芯明天二维θx, θz向压电偏摆台
外观形状
产品运动示意图
闭环曲线
大承载、高精度、高频率
频率负载曲线
驱动测试实验
N50 θx, θz二维偏摆/旋转台是专门为空间扰动实验而设计的大承载偏摆系统,具有电容闭环幅值校正功能,可以带60kg负载做精密偏转,zui大行程为±0.3mrad。
N50压电偏转台采用有限元分析对结构进行优化,具有非常高的刚度,即使其在负载的情况下仍然可以实 现高动态,zui大频率可以达到500Hz。
可选择多种传感器类型,如电容、电感、应变计等。该产品已经成功应用于模拟空间扰动等实验中。
N50大负载θx, θz二维偏摆/旋转台需要三通道控制器进行驱动控 制,根据所需使用频率配套不同功率的压电控制器。如100~200Hz 使用频率,我们推荐配套E00/E01系列控制器选择E05驱动模块。
3.二维θx, θz向压电偏摆台
应用
• 光束扫描 • 图像处理/稳定 • 光学、激光扫描、通信、光线偏转、干涉/计量 • 空间扰动模拟系统 • 光路调整 • 掩模与晶片位置调整 • 光学显微成像 • SPM扫描显微镜 • 掩模/晶圆定位 • 生物技术 • 表面结构分析
可定制
N50压电偏摆/旋转台参数可接受定制。
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