Aerotech 纳米级定位平台-ANT系列

Aerotech 纳米级定位平台-ANT系列
一、ANT95-L系列纳米级精密定位平台 

优点： 
非接触式，无顿转，无摩擦，直接驱动，无背隙与磁滞，大行程 

1：高分辨率1nm 
2：重复定位精度±25nm 
3：定位精度 ±250nm 
4：行程25-50mm 
交叉滚柱轴承设计 
可以提供X,XY,XYZ等多种组合。可以实现1nm的zui小步进。 

二、ANT130-L系列纳米级精密定位平台 

优点： 
非接触式，无顿转，无摩擦，直接驱动，无背隙与磁滞，大行程35-160mm 

1：高分辨率1nm 
2：重复定位精度±25nm 
3：定位精度 ±250nm 
4：行程35-160mm 
交叉滚柱轴承设计 
可以提供X,XY,XYZ等多种组合。可以实现1nm的zui小步进。 

三、Z轴运动平台 

ANT95-L-Z 与ANT130-L-Z系列纳米级精密定位平台 
优点： 
非接触式，无顿转，无摩擦，直接驱动，无背隙与磁滞，大行程25-60mm 

1：高分辨率2nm 
2：重复定位精度±75nm 
3：定位精度 ±300nm 
4：行程25-60mm 
交叉滚柱轴承设计 
可以实现2nm的zui小步进。 

四、纳米垂直升降台 

垂直升降，非接触式，无顿转，无摩擦，直接驱动，无背隙与磁滞，行程3-5mm 

1：高分辨率1nm 
2：重复定位精度±75nm 
3：定位精度 ±200nm 
4：行程3-5mm 
交叉滚柱轴承设计 
可以实现1nm的zui小步进。 

更多Aerotech纳米定位平台请销售工程师： 张巨鹏  

Aerotech 纳米级定位平台-ANT系列