WBMW-QXCJ4 任氏巨源微波化学气相沉积炉_详细资料

产品信息

任氏巨源微波化学气相沉积炉应用：可制备石墨烯、光电功能材料、碳纤维、SiC、TiC、膜材料，气相参与反应的材料合成等。

任氏巨源微波化学气相沉积炉组成：石英质、高温合金管质及刚玉质管式炉，质量流量控制器和抽真空机械泵、扩散泵和分子泵。

任氏巨源微波化学气相沉积炉特点：

1. 才用纯微波加热或混合加热方式，可加热包括金属在内的任何材料，

2. 升温速率快，智能控温，可分段设置，控温精度高，热惯性小。此管式炉可同时加热多个温区，且加热区长度可调。

3. 可通各种气氛，抽真空有机械泵、扩撒泵和分子泵，可达10^-3Pa真空状态。

4、炉体采用不锈钢密封法兰（铰链结构），耐高温、耐腐蚀；

5、保护管采用耐高温合金管，气管采用卡套或VCR接口，安装方便；

6、炉体配有自动冷却风扇，降低温度；

7、控温PLC系统，可分段控制，控温精度±1℃，控温精度高；

8、真空系统：机械泵扩散泵和分子泵，真空密度计

9、可通过电脑全程监控和调试；

任氏巨源微波化学气相沉积炉参数：

型号/model

可加热材料

非易燃易爆的任何材料，包括：金属、陶瓷、有机材料、矿物、溶液等

微波频率

2.45GHZ±50MHz

加热方式

纯微波加热、传统电加热、混合加热

Z大功率

2KW(功率可调)

4KW(功率可调)

温度测试元件

微波场专用传感器

控温精度

±1℃/±2℃

加热管材质

石英管

高温合金管

刚玉管

加热温度

1200℃

1200℃

1600℃

管径

加热速度（Z高）

恒温区长度

标配恒温区长度10mm，恒温去长度10mm～1000mm以上可选

温区

可多温区同时加热

气路法兰

不锈钢法兰

质量流量控制

美国Alicat质量流量&控制器、七星华创质量流量&控制器

气柜、气路及各类阀门，可配套计算机自动控制系统及软件

气路数量

2路或3路

流量范围

精度

响应时间

工作压力

系统连接方式

采用快速连接波纹管、高真空手动挡板阀及数显真空测量仪(列子)

规格

高真空

系统真空范围

标准大气压～10^-3Pa

真空泵

简单机械泵抽真空和不锈钢法兰

10^-1Pa真空用机械泵及真空计

10^-2Pa真空用机械泵、扩散泵及真空计

10^-3Pa真空用机械泵、分子泵及真空计

炉腔尺寸

加热腔(标配)

0.5-3L 2个

加热腔大小

0.94L，2.12L，3.8L

升温速率(标配)

外型尺寸

150cm´75cm´16cm(长×宽×高)

重量

微波泄漏

提供相关配件

保质期

整机免费保修1年

质量认证

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型号/model
可加热材料	非易燃易爆的任何材料，包括：金属、陶瓷、有机材料、矿物、溶液等
微波频率			2.45GHZ±50MHz
加热方式			纯微波加热、传统电加热、混合加热
Z大功率	2KW(功率可调)		4KW(功率可调)
温度测试元件	微波场专用传感器
控温精度			±1℃/±2℃
加热管材质		石英管	高温合金管	刚玉管
加热温度		1200℃	1200℃	1600℃
管径
加热速度（Z高）
恒温区长度			标配恒温区长度10mm，恒温去长度10mm～1000mm以上可选
温区			可多温区同时加热
气路法兰	不锈钢法兰
质量流量控制	美国Alicat质量流量&控制器、七星华创质量流量&控制器气柜、气路及各类阀门，可配套计算机自动控制系统及软件
气路数量			2路或3路
流量范围
精度
响应时间
工作压力
系统连接方式			采用快速连接波纹管、高真空手动挡板阀及数显真空测量仪(列子)
规格			高真空
系统真空范围			标准大气压～10^-3Pa
真空泵	简单机械泵抽真空和不锈钢法兰 10^-1Pa真空用机械泵及真空计 10^-2Pa真空用机械泵、扩散泵及真空计 10^-3Pa真空用机械泵、分子泵及真空计
炉腔尺寸
加热腔(标配)	0.5-3L 2个
加热腔大小	0.94L，2.12L，3.8L
升温速率(标配)
外型尺寸	150cm´75cm´16cm(长×宽×高)
重量
微波泄漏
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保质期	整机免费保修1年
质量认证