Pfeiffer 残余气体分析仪
Pfeiffer 残余气体分析仪 PrismaPro 特性:
模块化设计保证佳兼容性,
JSON 编程界面和多种接口易于系统集成
分析仪器和电子单元可灵活互换
双灯丝延长工作时间
低可检测分压3x10-15hPa
型号 | QMG 250 F1 | QMG 250 F2 | QMG 250 F3 | QMG 250 M1 | QMG 250 M2 | QMG 250 M3 | ||||||||
检测器 | 法拉第 Faraday (F) | 电子倍增器/法拉第 C-SEM/Faraday (M) | ||||||||||||
质量数 amu | 1–100 | 1–200 | 1–300 | 1–100 | 1–200 | 1–300 | ||||||||
四极杆直径/长度 | 6 /125 mm | |||||||||||||
小检测极限 F hPa *1,2 | 4X10-13 | 5X10-13 | 7X10-13 | - | - | - | ||||||||
小检测极限 M hPa *1,2 | - | - | - | 3X10-15 | 4X10-15 | 5X10-15 | ||||||||
对Ar的灵敏度 F A/hPa*3 | 5X10-4 | 4X10-4 | 3X10-4 | 5X10-4 | 4X10-4 | 3X10-4 | ||||||||
大工作压力 F hPa | 5X10-4 | |||||||||||||
大工作压力 M hPa | - | - | - | 5X10-5 | 5X10-5 | 5X10-5 | ||||||||
对临近质量数的影响*1 | < 10 ppm | < 20 ppm | < 50 ppm | < 10 ppm | < 20 ppm | < 50 ppm | ||||||||
操作温度 分析 | 200 °C (max. 150 °C when operating with SEM) | |||||||||||||
操作温度 电子 | 5 – 50 °C | |||||||||||||
烘烤温度 分析 | 300 °C | |||||||||||||
连接法兰 | DN 40 CF-F | |||||||||||||
保压时间 | 1 ms – 16 s/amu | |||||||||||||
重量 | 2.5 kg | 3.2 kg |
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