SQC-310 INFICON石英晶体膜厚控制仪
技术特点
■高亮度,VGA活性点阵彩色LCD显示器–可显示英文或中文。
■标准RS-232和USB(有以太网选件)。
■易设置和操作,有“快速设置”菜单,6个上下文-敏感的按钮,和方便的参数设定旋钮。
■Window程序用于开发,测试,和下载工艺过程,和将仪器数据记录至您的PC上,用于过程分析与质量控制。
■精确的过程控制,尤其用于低淀积率,在10读值/秒时的分辨率为±0.03Hz,在0至50°C温度范围内的频率稳定性为±2ppm。
■贮存容量高至100个工艺过程,1,000个膜层,50个膜系。
■用单传感器或多传感器监测源材料,提供精确的源分布监测。
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