E200P Exploiter系列原子层沉积设备

1、Exploiter-E200P产品特色Exploiter-E200P

（1）传输管路的优化设计，有效地避免管路堵塞及交叉污染问题

（2）工业化级别标准集成：PLC+工控机+触摸屏

（3）软件操作界面友好，可真正实现“一键沉积”

（4）完善全面的安全互锁方案

（5）实时监测镀膜工艺

2、Exploiter-E200P可制备的材料种类

（1）氧化物：Al₂O₃、TiO₂、SiO₂、HfO₂、Ta₂O₅、ZrO₂、ZnO、SnO₂、La₂O₃、Lu₂O₃等

（2）金属材料及合金：Fe、Co、Ni、Cu、Ag、Au、Ru、Pt、Ag、Au等

（3）二元/多元材料：AlN、HfON、LaAlO₃、MnN、WN等

（4）纳米层压材料：(Al₂O₃/ZrO₂)_n等

3、Exploiter-E200P技术指标

（1）本底真空：＜5.0×10^-3torr，高性能机械泵（可定制其它款型）

（2）样品腔室：φ200mm+粉末颗粒包裹腔（可定制其它款型）

（3）前驱体源：3路

（4）氧化/还原反应物：3路

（5）沉积温度：室温-500℃（可定制其他温度）

（6）前驱体管道温度：室温-120℃（可定制其他温度）

（7）源瓶加热温度：室温-120℃（可定制其他温度）