主要技术指标
| 型号 | LS-WPS150-SC | LS-WPS200-SC | LS-WPS300-SC | ||||||||||||
| 外形 | 820mm长* | 720mm宽* | 890mm高 | 960mm长* | 850mm宽* | 900mm高 | 1300mm长* | 920mm宽* | 920mm高 | ||||||
| 重量 | 约170公斤 | 约230公斤 | 约300公斤 | ||||||||||||
| 电力需求 | 220VC, 50~60Hz | ||||||||||||||
| 样品台 | 尺寸 | 6英寸，可360度旋转 | 8英寸，可360度旋转 | 12英寸，可360度旋转 | |||||||||||
| 行程 | X-Y行程6*6英寸 | X-Y行程8*8英寸 | X-Y行程12*12英寸 | ||||||||||||
| 移动精度 | 1um | ||||||||||||||
| 样品固定方式 | 真空吸附 | ||||||||||||||
| 背电极测试功能 | 有，样品台电学独立悬空 | ||||||||||||||
| 针座平台 | 规格 | U型平台，Z多可以放置8个针座 | U型平台，Z多可以放置10个针座 | U型平台，Z多可以放置12个针座 | |||||||||||
| 行程&调节方式 | 平台可以快速升降，行程6mm，并带自动锁定功能；可以上下微调，行程25mm，升降精度1um | ||||||||||||||
| 光学特性 | | 显微镜行程 | X-Y轴行程2英寸*2英寸，Z轴：50.8mm | ||||||||||||
| 显微镜移动精度 | 1um | ||||||||||||||
| 切换镜头方式 | 显微镜快速倾仰30度 | ||||||||||||||
| 放大倍数 | 20~4000X | ||||||||||||||
| 镜头规格 | 目镜：10X; 物镜：5X, 10X, 20X, 50X, 100X （选配） | ||||||||||||||
| CCD像素 | 50W（模拟）/200W（数字）/500W（数字） | ||||||||||||||
| 点针规格 | X-Y-Z行程 | 12mm-12mm-12mm/8mm-8mm-8mm | |||||||||||||
| 机械精度 | 10微米/2微米/0.7微米/0.1微米 | ||||||||||||||
| 漏电精度 | 10pA/100fA（配置屏蔽箱时） | ||||||||||||||
| 接口形式 | 香蕉头/鳄鱼夹/同轴/叁轴/SMA/K接口 | ||||||||||||||
| 应用方向 | 晶圆测试，光电器件测试，PCB/封装器件测试，射频测试，高压/大电流测试等 | ||||||||||||||
科研型晶圆测试探针台
LS-WPS150-SC 科研型晶圆测试探针台
高低温晶圆测试真空探针台
HYCZ-5型全自动车辙试验仪(科研型) HYCZ-5型全自动车辙试验仪(科研型)
HYCZ-5型自动车辙实验仪（科研型） HYCZ-5型自动车辙实验仪（科研型）
自动车辙试验仪-单轮（科研型） 自动车辙试验仪-单轮（科研型）
自动车辙试验仪-双轮（科研型） 自动车辙试验仪-双轮（科研型）
全自动车辙试验仪（科研型） 全自动车辙试验仪（科研型） 全自动车辙试验
BM-648SV 电脑研究型生物显微镜、科研型生物显微镜
HYCZ-1型沥青车辙试验仪（科研型，普及型），沥青自动车辙试验仪适用范围，HYCZ-1型沥青车辙试验仪参数
ZT-4C 北京精科科研型ZT-4C铁电材料测试仪，铁电材料测试仪
HYCZ-1型 HYCZ-1型（HYCZ-5型）自动车辙试验仪（科研型）
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