高低温晶圆测试真空探针台

产品特性 

1. 可进行真空环境下的高低温测试（4.2K-450K）

2. 防辐射屏设计，样品温度均匀性和稳定性更好

3. 兼容高倍率金相显微镜，可微调移动

4. 探针热沉设计

5.可升级自动流量控制

6. 可升级加载磁场

7. 支持光谱波长/光功率特性测试

8. 器件的高频特性（支持67GHz频率）

9. VCSEL/LD/LED/PD的光功率/光谱波长测试

VCSEL/LD/LED/PD的的LIV/CV特性测试

 

主要技术指标 

型号

LSO-WPS50-TEC

LSO-WPS100-TEC

LSO-WPS50C-TEC

外形

900mm长*

900mm宽*

530mm高

1100mm长*

1100mm宽*

530mm高

1100mm长*

1100mm宽*

1030mm高

重量

约170公斤

约190公斤

约290公斤

电力需求

AC220V, 50~60Hz

样品台

尺寸

2英寸

4英寸

2英寸

样品固定方式

真空导热硅脂/弹簧压片

样品台移动

固定的样品台

真空度

10^-10torr真空

光学特性

显微镜行程

2*2英寸

4*4英寸

2*2英寸

放大倍数

变焦：7:1分辨率4μm（放大倍数216X）或者选用金像显微镜（20X-1000X）

真空腔观察窗尺寸

2inch

4inch

2inch

CCD像素

50W（模拟）/200W（数字）/500W（数字）

温度控制

制冷方式

液氮/液氦

制冷压缩机

控制方式

开循环手动/自动冷媒流量控制

闭循环自动控制

控温范围

77~450K/4.2K~450K

4.2K~450K

控温分辨率

0.001k

温度稳定性

4.2K     ±0.2K           77K      ±0.1K

373K     ±0.08K         473K     ±0.1K

823K     ±0.2K（可选）       973K     ±1.0K（可选）

常温到8K冷却时间

90min

150min

8K到常温升温时间

90min

90min

常温开始的升温时间

100℃      150℃                  200 ℃

30min      50min                  80min

加热电源

LVDC低压直流

传感器

硅二极管

传感器数量

样品台，防辐射屏，探针臂各一个

功率

50W/100W/500W/1000W

点针规格

探针数量

2个/4个/6个

探针调节

真空波纹管外部调节，手动控制

点针精度

10微米/2微米/0.7微米

点针行程

25mm-25mm-25mm

漏电精度

10pA/100fA

接口形式

三轴/SMA/K/光纤接口

应用方向

高低温真空环境下的芯片测试，材料测试，霍尔测试，电磁输运特性等