产品特性
型号 | LS-WPS150-TEC | LS-WPS200-TEC | LS-WPS300-TEC | |||||||||||||
外形 | 860mm长* | 850mm宽* | 700mm高 | 880mm长* | 860mm宽* | 750mm高 | 1400mm长* | 920mm宽* | 920mm高 | |||||||
重量 | 约150公斤 | 约170公斤 | 约250公斤 | |||||||||||||
电力需求 | 220VC, 50~60Hz | |||||||||||||||
样品台 | 尺寸 | 6英寸,可360度旋转 | 8英寸,可360度旋转 | 12英寸,可360度旋转 | ||||||||||||
行程 | X-Y行程6*6英寸 | X-Y行程8*8英寸 | X-Y行程12*12英寸 | |||||||||||||
移动精度 | 1um | |||||||||||||||
切换样品功能 | 样品台快速拉出 | |||||||||||||||
样品固定方式 | 真空吸附 | |||||||||||||||
电学运用 | 电学独立悬空,可作为背电极使用 | |||||||||||||||
针座平台 | 规格 | O型平台,Z多可以放置8个针座 | O型平台,Z多可以放置10个针座 | O型平台,Z多可以放置12个针座 | ||||||||||||
行程&调节方式 | 平台可以快速升降,行程6mm,并带自动锁定功能;可以上下微调,行程25mm,升降精度1um | |||||||||||||||
温控特性 | 温度范围 | -100~200℃ | -80~200℃ | -60~200℃ | ||||||||||||
温控精度 | 温度分辨率:0.01℃ | |||||||||||||||
加热电源 | LVDC低压直流 | |||||||||||||||
控温速率 | ±0.1℃/小时 | |||||||||||||||
制冷方式 | 液氮制冷 | |||||||||||||||
光学特性 | 显微镜行程 | X-Y轴行程2英寸*2英寸,Z轴:50.8mm | ||||||||||||||
切换镜头方式 | 显微镜气动升降 | |||||||||||||||
放大倍数 | 16~100X/20~4000X | |||||||||||||||
镜头规格 | 目镜:10X; 物镜:5X, 10X, 20X, 50X, 100X (选配) | |||||||||||||||
CCD像素 | 50W(模拟)/200W(数字)/500W(数字) | |||||||||||||||
点针规格 | X-Y-Z行程 | 12mm-12mm-12mm/8mm-8mm-8mm | ||||||||||||||
机械精度 | 10微米/2微米/0.7微米/0.1微米 | |||||||||||||||
漏电精度 | 10pA/100fA(配置屏蔽箱时) | |||||||||||||||
接口形式 | 香蕉头/鳄鱼夹/同轴/叁轴/SMA/K接口 | |||||||||||||||
应用方向 | 高低温环境下,LD/LED/PD测试,PCB/封装器测试,射频测试等 |
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