保修期: 1年 现货状态: 非库存 供应商: semishare 数量: 100
SCG-4特点:
l 载物Chuck 温度范围:8K-480K
l 外置4个定位针臂,预留2个
l 探针X-Y-Z三方向移动,行程:25mm,定位精度:10微米
l Z多可以外置6个定位针臂
l 载物chuck 可到2寸
l 双屏蔽chuck高低温时达到100FA 的测试精度
l 针臂定位精度可以升级为0.7微米
l 极限真空到10-10 torr
l 可以选择射频配件做67 GHz的射频测试
l 可以选择防震桌
l 可以选择超高真空腔体
l 客户订制
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