数量: 大量
高精度光谱椭偏仪!可以精确测量折射指数、消光系数(n & K),膜厚等,广泛适用于半导体、电介质、聚合物、金属等材料,单层薄膜和多层膜。客户包括US Army Research Lab,NASA,NIST,UC Berkeley,MIT,Harvard,Honeywell和Sharp Microelectronics等;
根据客户需求,可提供不同型号:
变角度单波长椭偏仪(632.8nm);
变角度多波长椭偏仪(532, 632.8, 1064nm, …);
变角度光谱椭偏仪(深紫外、紫外-可见-近红外光谱190-2300nm);
全自动光谱椭偏仪(深紫外、紫外-可见-近红外光谱190-2300nm);
红外光谱椭偏仪等;
膜厚范围:0-30000nm 折射指数:± 0.0001 厚度准确度:± 0.01nm 入射角度:20 - 90° 波长范围:250-1100nm(深紫外、近红外、红外可选) Psi=±0.01°,Delta=±0.02°
高精度测量;
变角度功能;
全光谱测量;
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