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来自欧洲SEM、TEM、XTEM及FIB样品制备系统;可以更为清楚的将材料自然状态下的微观结构展现出来。 常规的离子减薄仪离子源能量较大,易破坏样品的微观结构,而且很难看到材料真实的自然状态下的纳米结构; 因此,采用低能离子源,在有效避免样品的微观结构被损伤的基础上,大大提高了电镜图片的清晰度,进而可以更为清楚的将材料自然状态下的微观结构展现出来。
离子能量:0.1~10keV; 离子束减薄样品角度:0~90度; 样品减薄速率:350um/h;
在不同的激发电压下,样品双面同时减薄; 超大TEM样品制备:>100um*100um; 可同时实现样品减薄和抛光; 支持升级低能离子源; 支持所有的离子源; 支持液氮冷却台;
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