仪器介绍
LSX-500是CETAC激光烧蚀进样系统的第四代产品,使用特殊设计的高能量(> 9mJ)266nm的激光器,是一款通用型的激光烧蚀进样系统,适用于包括陶瓷、半导体、金属、生物及环境样品、医药、法医和地质研究在内的各种样品。
LSX-500采用先进的“内均匀分布光束”技术,使激光束具有平坦、均匀的能量密度。
技术参数
> 9mJ 激光能量, 266nm, <6ns 脉冲宽度
能烧蚀诸如:高纯熔融硅、方解石、萤石等“困难”样品
先进的“平顶”激光能量技术和均匀的高密度光束
能量输出:0-可调,能量稳定性:RSD3-4%
激光束频率:1-20Hz
烧蚀斑点: 10mm-230mm,所有光斑均具有相同的能量密度
配置60--600倍、计算机连续调整的显微成像系统
< 5mm的光学分辨率
光学变焦的数码成像,计算机自动聚焦
不管是反射光还是透射光,亮度0-连续可调
配置偏振镜系统
标配52mm(直径)X 50mm(高)的样品室,另有多种规格可选
高精度X-Y-Z三维移动系统,每步0.25mm的分辨率
配置氦质子流量计
Windows 2000、XP、NT操作系统, 同一屏幕显示激光所有状态和工作参数
7种烧蚀模式:包括单点、多点、直线、分段直线、光栅式扫描和深度扫描等
样品“Map”功能可观察整个样品区域,并快速导视
主要特点