GeoLasPro 193 nm准分子型激光系统

仪器介绍

GeoLasPro 193 nm准分子型激光系统，是由美国Cetac公司和美国Coherent（相干）公司联合推出的端的DUV激光烧蚀进样系统。

技术参数

GeoLasPro 193nm准分子激光系统具有无与伦比的技术性能和可靠性：


激光能量输出：200 mJ
能量密度： 45J/cm2
能量密度动态范围：<1--45 J/cm-2
采用13 x13双轴均匀器、正交透镜设计技术，具有高性能的激光光束的均匀性
激光脉冲稳定性：2% (1 sigma)
烧蚀斑点：4mm-160mm
3个的光圈滑动器，每个光圈滑动器具有10个位置，包括圆行和方型的光圈
光斑能量的不均匀性： < ± 3.5% (2 sigma)
Z短的波长，Z小的分馏效应
的光电子能量（6.4eV）,所有材料均能GX吸收
的烧蚀坑深度控制精度（100nm）
配置高性能岩相学显微镜，具有用于可见光的10倍 和 20倍的观察物镜 (LMPLFL 20x/0.4 and LMPLFL 10x/0.25)；用于紫外烧蚀和可见光的25倍Schwarzschild物镜
具有反射照明、透射照明系统，具有旋转偏振滤光器
高性能彩色CCD摄像，20”高性能LCD 电视，用于实时观察
使用特别的操纵杆，自动控制的x-y-z三向工作台（行程100 (x) x 70 (y) x 20 (z) mm3），三个方向的机械位移的重复性：￡ 1μm
特别大的样品工作台，可以满足用户设计的样品室需要
完整的软件系统

主要特点