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Hcisas显微自动平台自动聚焦系统 ⑴ X、Y轴方向自动平台 *外形尺寸:212x 168 mm *X方向行程:≥55mm *Y方向行程:≥25mm *重复定位精度:≤±2um *Z小步距(分辨率):0.625um /1.875um *限位开关:X、Y标准(四个) *手动控制:支持 *移动速度:五档可调(>0.6mm/s或1.8mm/s) ⑵ Z轴方向调焦机构 *调焦步距(分辨率):0.25um或<0.1um *限位开关:无 *手动控制:支持 ⑶ 自动平台控制器 *通讯方式:RS232串口通讯 *电动控制:操纵杆 *电源 :交流220V
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