PLASMA-PREEN等离子清洗/蚀刻系统是一台台式微波等离子清洗机设备。等离子清洗机系统融合了下面的特点,并在众多的应用领域中得到肯定。
产品特色
负载循环控制,模拟功率控制
处理机存储
水冷底座
减少污水排放
安全保护设计
操作简便 维护方便
应用范围:
混合电路板制造中基片的清洗
打线工艺前清洗电子部件,提高其可靠性
锡焊或焊接工艺前,关键性镀金部件的清洗
清洗半导体元器件
光刻胶去胶
上胶、印刷和其它表面浸湿操作的表面准备
镀膜前对光学器件清洗
清洗石英、蓝宝石及其它材料
适用工艺:
打线垫清洗、减少金属氧化物、清洗 Pd-Ag 裸芯片垫;
去除光刻胶、塑料表面上胶处理、去除油渍或是环氧残留物;
清洗陶瓷基片、清洗玻璃部件、清洗光学部件、清洗半导体表面、清洗镀银部件;
塑胶密封剂去除--失效模式分析
型号 | PPC862 | PPC973 |
反应舱尺寸(H*W*D) | 203mm x 152 mm x 50mm | 229 x 178 x 76 mm |
冷却面(H*W) | 203 mm x 152 mm | 229 mm x 178 mm |
反应舱 | 方形舱体 | 方形舱体 |
反应舱材质 | 派热克斯玻璃&铝材 | 派热克斯玻璃&铝材 |
水冷式 | 水冷装置 | 水冷装置 |
负载比 | 10%至连续性 | 10%至连续性 |
标准流量 | 5cu-ft./Hr.@STP | 5cu-ft./Hr.@STP |
频率(GHz) | 2.45 GHz | 2.45 GHz |
功率(Watts) | 100至750之间调节 | 100至750之间调节 |
重量 (Kg) | 29.5kg | 38.5kg |
真空泵系统 | 抽气速率3.8cfm/分 | 抽气速率3.8cfm/分 |