PLASMA-PREEN等离子清洗/蚀刻系统是一台台式微波等离子清洗机设备。等离子清洗机系统融合了下面的特点，并在众多的应用领域中得到肯定。
产品特色
负载循环控制，模拟功率控制
处理机存储
水冷底座
减少污水排放
安全保护设计
操作简便 维护方便
| 型号 | PPC862 | PPC973 |
| 反应舱尺寸(H*W*D) | 203mm x 152 mm x 50mm | 229 x 178 x 76 mm |
| 冷却面(H*W) | 203 mm x 152 mm | 229 mm x 178 mm |
| 反应舱 | 方形舱体 | 方形舱体 |
| 反应舱材质 | 派热克斯玻璃&铝材 | 派热克斯玻璃&铝材 |
| 水冷式 | 水冷装置 | 水冷装置 |
| 负载比 | 10%至连续性 | 10%至连续性 |
| 标准流量 | 5cu-ft./Hr.@STP | 5cu-ft./Hr.@STP |
| 频率(GHz) | 2.45 GHz | 2.45 GHz |
| 功率(Watts) | 100至750之间调节 | 100至750之间调节 |
| 重量 (Kg) | 29.5kg | 38.5kg |
| 真空泵系统 | 抽气速率3.8cfm/分 | 抽气速率3.8cfm/分 |
