MX61A 自动化半导体检查显微镜产品特点:• 具有能满足灵活应对特定检查需要的 Inspection-Engine 和高度解析需要的 Analysis-Engine 两个可选控制器(Dual-Engine) 。通过两个控制器,根据半导体检查或解析的需要,轻松实现灵活的自动化及需要的扩展工作MX61A详细规格:
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