RGH22
l 小巧坚固的外壳
l 工业标准的数字和模拟信号输出
l 内置细分卡和安装LED 指示灯
l 分辨率从5μm,1μm,0.5μm,0.1μm 到50nm
l 参考零位和双限位开关传感器
l 高柔性双屏蔽12 芯电缆或带状电缆可选
l 三态低电平报警信号或全报警输出
l 16.0mm×44.0mm×27.0mm (H×L×W)
l 也可提供5μm,1μm,0.5μm (RGH26)的与Mitsubishi
Melservo?-J2-Super 兼容的产品
光栅 RGS20-S:镀金钢带,带保护膜或聚酯涂层
栅距 20 μm
热膨胀系数 用端压片固定光栅尺端部后,保持与基体材料膨胀系数一致
参考零位 利用磁励体的单向重复精度达到1单位分辨率
限位开关 单限位或双限位(订货时选择)
栅尺长度 Z长达50 000 mm
速度
模拟
数字
(详见规格手册)
-3 dB时可达4 m/s
高达10 m/s(取决于分辨率)
分辨率
模拟 1 Vpp,12 μA(周期20 μm)
数字 分辨率分别为5 μm、1 μm、0.5 μm、0.1 μm、50 nm
电气连接 电缆长度为0.5 m、1 m、1.5 m、2 m、3 m和5 m,采用D型子插头
(15针)、圆形插头(9针和12针)、同轴插头(16针)或散线
电源 5 V ±5%,120 mA(典型)、200 mA(分辨率为0.1 μm和50 nm)
(无端接)
振动 (工作) 55 Hz至2000 Hz时为100 m/s2(值)(BS EN 60068- 2-6: 1996)
震动 (非工作) 1000 m/s2,6 ms,? 正弦 (BS EN 60068-2-27: 1993)
工作温度 0 °C至+55 °C
防护等级 IP50
电子细分误差 (SDE) 一般小于±0.15 μm
动态信号控制 直流光源伺服提供简单的自动增益控制 (AGC) 功能来优化信号水 平
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Series Type Cable Connector Option
1 Vpp differential analogue, dual limit
RGH22 E 00 Z 24
5 μm digital, dual limit
RGH22 J 00 Z 24
1 μm digital, dual limit
RGH22 K 00 Z 24
0.5 μm digital, dual limit
RGH22 L 00 Z 24
0.1 μm digital, dual limit, 10 MHz
RGH22 M 00 Z 68