仪器规格 |
分辨率 | 高真空模式 4.0nm (20kV), 低真空模式 5.0nm (20kV), |
放大倍率 | 8到300,000倍 |
加速电压 | 0.5kV~20kV |
样品台 | 大型全对中样品台 (五轴手动X, Y, Z, R, T) X:80mm, Y:40mm, Z:5mm~48mm T:-10°~ + 90°, R:360° |
样品尺寸 | 直径150mm, 高度48mm |
检测器 | 二次电子检测器、背散射检测器、(成份像、形貌像、立体像)、EDS检测器(SDD) *JSM-6010LA有低真空二次电子检测器为选购 |
画像显示 | 标准图像、双实时图像、分立实时图像、画中画模式、数字放大、双放大倍数 |
EDS元素分析 | 定性分析、定量分析、彩色面分析、电子束追踪、检测元素范围:B~U |
自动功能 | 自动聚焦、自动衬度/亮度、自动消像散、自动灯丝饱和、自动对中、自动电子枪偏压。 |
真空排气装置 | 涡轮分子泵(TMP)、机械泵(RP) |
网络 | 以太网、无线LAN(选配件) |