多功能数字式四探针多功能数字式方阻测试仪 数字式双电测四探针测试仪​

​多功能数字式方阻测试仪是运用方形四探针Keywell测量原理的多用途综合测量装置，它与直线四探针相比，消除了探针游离对测试结果的不利影响，大大提高精确度，并提高微区测试能力，

它可以测量片状、块状半导体材料的电阻率，扩散层的薄层电阻（亦称方块电阻）。也可测柔性导电薄膜和玻璃等硬基底上导电膜的方块电阻（简称方阻），换上四端子测试夹具，还可对电阻器体电阻、金属导体的低、中值电阻以及开关类接触电阻进行测量。

本测试仪特赠设测试结果分类功能，分类10类

仪器所有参数设定、功能转换全部采用数字化键盘输入；具有零位、满度自校功能；自动转换量程；测试探头采用宝石导向轴套和高耐磨碳化钨探针制成，故定位准确、游移率小、寿命长；测试结果由数字表头直接显示。

三、基本技术参数 

1.测量范围、分辨率

电    阻：     1.0×10-3～ 200.0×103 Ω,    分辨率0.1×10-3～ 0.1×103 Ω

电 阻 率：     1.0×10-3～ 20.0×103Ω-cm  分辨率0.1×10-3～ 0.1×103 Ω-cm

方块电阻：     1.0×10-3～ 20.0×103Ω/□  分辨率1.0×10-3～ 0.1×103 Ω/□

2.可测半导体材料尺寸

直        径：  测试台直接测试方式 Φ15～130mm，其他方式不限.

长（或高）度：  测试台直接测试方式 H≤160mm,    其他方式不限.

3.量程划分及误差等级

4)工作电源：220V±10％, f=50Hz±4％,PW≤5W

5)外形尺寸：W×H×L=20cm×7.5cm×18cm

净   重：≤1kg