LF400系列采用温度变化对应于质量流量的原理，可以对不同的气体进行流量量测及控制。 可应用在5SCCM到30SLM的气体流量范围，并且不会受到温度及压力变化的影响。 产品系列完整，可选择数字式，模拟式，普通，高精度，高压力型，性能且价格具有竞争力，应用领域广泛。
| 功能 | 流量计/控制器 | |
| 基本型号 | LF400-S | |
| 满量程流量范围(N2) | SCCM | 0～5，10，20，30，50，100，200，500 |
| SLM | 0～1, 2, 3, 5, 10, 15, 20, 30 | |
| 精度(％F.S) | ±1(≤15SLM) | |
| ±1.5(＞15SLM.) | ||
| 控制阀动作型式 | 常闭式 | |
| 线性(％F.S.) | ±0.5～1(≤15SLM) | |
| ±1.5％(＞15SLM.) | ||
| 重复精度(％F.S.) | ±0.2 | |
| 响应时间(sec) | ≤1 | |
| 流量输出信号 | 0-+5.00V | |
| 流量设定信号 | 0-+5.00V | |
| 电器接头 | DB15 pin(接头) | |
| 工作环境温度 | (℃) | 5～45 |
| 工作压差 | (MPa) | 0.1～0.5 |
| 漏率 | SCCSHe | 1×10-9 |
| 耐压 | 3MPa | |
| 介质接触材质 | 304，316，316L | |
| 密封材料 | 氟橡胶，硅橡胶，丁氰橡胶，聚四氟乙烯 | |
| 接头 | VCR " 1/4、1/2 | |
| Swagelok1/8”、1/4” 、3/8” 、1/2”或φ3、φ6、φ8、φ10、φ12mm | ||
| 接头和尺寸 | Φ6mm,1/4"Swagelok:127×28×100mm 1/4"VCR:127×28×100mm | |
| 电源要求 | +15V,50mA;-15V,200mA | |
| 重量 | 1.0KG | |
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