P31俯仰/偏转镜系统可提供光束偏转角度达50mrad,这种偏转镜系统是基于成熟的平行运动学设计,两个运动轴为垂直共面轴且具有共同的固定点,具有高分辨率及高定位精度等特点。
驱动原理
压电偏转镜(两轴运动)是基于平行运动学设计,具有共面轴及移动面。四个执行机构(压电促动器)以90°角平分放置,成对的差分控制分布。两对差分驱动压电促动器在较大温度范围内提供可实现的角度稳定性。它的偏摆运动是由两对压电促动器以推拉模式来实现,采用桥式连接电路控制。
高可靠性及长寿命、高稳定性及动态性
P31系统内部装配带有预紧力的高可靠性压电促动器,被集成在成熟的、经过FEA建模分析的铰链导向系统。压电促动器为叠堆共烧型压电陶瓷,可提供更好的稳定性及可靠性。
压电促动器、导向机构及传感器是免维护的,不易损坏且提供超高的可靠性。
先进的铰链/杠杆设计将惯性Z小化,允许25mrad的大角度俯仰/偏转范围(可将光束偏转50mrad),且具有非常快的响应速度,在毫秒级范围。
除了大偏转角度及高动态,P31还提供了亚微弧度的分辨率。内部集成高分辨率、全桥的应变传感器(SGS)实现了的位置控制,具有优异的重复定位精度,通常为满行程的0.2%。