氦质谱检漏法是根据质谱分析的原理，以氦作探索气体，对各种需密封的容器的漏隙进行快速定位和定量检测的理想的方法。因氦是隋性气体，对大气无污染，使用安全；氦原子量小、粘度小，易渗透过任何可能存在的漏率，检测灵敏度高、速度快、适用范围广；加之氦在大气中含量少（仅万分之五），离子质量与其它气体离子质量相差很大，不易受干扰，不会错判。
ZLS－26D/T型氦质谱检漏仪是新型的全功能氦质谱检漏仪，机内采用涡轮分子泵作主排气机，启动快（仅五分钟即可使用）。仪器可以在测试口压强近似大气时，采用道扩散方式进行检漏，也可以在测试口压强为50Pa以下时采用常规方式进行检漏；用常规方式检漏时，可以在分流状态下检较大的漏隙（测试口压强在 50～10-1Pa），也可以在不分流状态下检微小的漏隙（测试口压强在10-1Pa以下）。仪器测量范围可达2×10-1～2×10-12Pa·m/S。仪器采用光柱和数码管直接显示漏率，且可按需要选用适当的漏率单位（仪器已给出四种常用单位Pa·m3/S、Torr·L/S、mbAR·l/s、atm·cc/s），读数方便仪器有音响报警装置，报警点可以任意设定，使用方便。本仪器适用于工厂车间和实验室对各种零部件作喷氦法（真空检漏法）、吸氦法（压力检漏法）、背压法检漏。其中ZLS-26D型已通过二炮验证，开始批量为其配套。
ZLS－26D/T型氦质谱检漏仪主要技术参数：
仪器Z小可检漏率：优于5×10-12Pa.m3/s
仪器可检漏率：2×10-1Pa.m3/s
仪器漏率显示范围：2×10-1～2×10-13Pa.m3/s
仪器的反应时间： 不大3s
仪器质谱室允许工作的压强：1×10-2Pa
仪器测试口允许工作的压强：1000Pa
被检件由粗抽至检清的自动切换点
（检漏点）可调范国：50～10-1Pa
音响器报警点设定范围：任意
背压法检漏时间可调范围：5～30s
仪器的启动时间： 不大于5min
仪器的轮廓尺寸： 640*550*980 mm3
仪器的重量： 约75Kg
