ZLS－25D/M、ZLS-25D/T型氦质谱检漏仪是一种全功能氦质谱检漏仪，与我厂生产的扩散泵型仪器相比，采用了德国莱宝的涡轮分子泵作仪器的高真空机组，优化了真空系统及控制阀门的设计，显示部分采用了嵌入式工控计算机，微机系统控制。适用于生产线上对大批量零件的检漏（喷氦法或背压法），也可用吸枪作吸氦法检漏。
ZLS－25D/M、ZLS-25D/T型氦质谱检漏仪主要特点：
1.1 微机系统控制，人机对话方式操作
1.2 7英寸触摸式液晶显示屏，大字符漏率显示，
漏率直读，四种常用漏率单位转换
1.3 自动扫描氦峰，具有图形显示和保存功能
1.4 动态清除本底
1.5 检漏过程曲线显示
1.6 检漏数据保存功能
1.7 声讯报警，报警点可程序设置
1.8 自带一套辅助系统，可作喷氦法、吸氦法和背压法检漏
1.9 进口涡轮分子泵
要技术参数：
2．1 仪器Z小可检漏率：优于 5×10-12Pa·m3／s
2．2 仪器的反应时间：不大于3s
2．3 仪器质谱室允许工作的压强：1×10-2 Pa
2．4 仪器测试口允许工作的压强：1000Pa
2．5 被检件由粗抽至检漏的自动切换点（检漏点）可调范围：40～10-1Pa
主要部件配置：
3．1 涡轮分子泵 国产 1台
3．2 前级泵 国产 1台
3．3 粗抽泵 国产 1台
3．4 质谱分析室 成都仪器厂 1套
3．5 校准漏孔（带检定证书） 1支
