ST2-1/ST2-2 复合真空计G-TRAN系列 多离子规ST2-1/ST2-2

高真空环境下测定，对真空计的精度(感度平衡，误差等)和较短的寿命(测定子污垢，放电难等)有困惑吗？ULVAC针对该愿望，开发了在严酷环境下长久，高精度测定的电离真空计。世界上三极管型金属电离真空计，对运转费大幅削减，过程布留率提高都有效果。

• 世界上三极管型金属电离真空计
  可以实现在恶劣环境下将 三极管的优点化，并实现长寿命的真空计
• 测定精度的提高
  实现测定精度±10％，感度稳定性提升
• 测定子的小型化・金属制
  不必担心玻璃破损
• 广域测定
  可以测定从大气压到高真空的领域（10⁺⁵Pa～10^-5Pa）（SPU・SAU在同时使用的情况下）
• 可以连接不同范围的测定子
  可以根据多离子规的用途来选择测定子
• 准确的大气压测定
  可以容易且准确的确认大气压（在使用SAU的情况下）
• 低环境负荷对应
  在运行成本的减少下，可以替换必要的测定子
• 灯丝使用寿命的通知功能
  通过电源监控，可以提前通知的灯丝寿命
• 辨认性的提升
  搭载一眼可以确认清楚真空计状态的LED
• 保养
  容易更换测定子
• 合适规格
  CE标准对应

• 有机EL、触摸屏等的制造装置到达压力确认以及过程管理用真空炉等各种产业用真空装置的到达压力确认
• 碳化氢（油基）多的环境下测定
• 真空部品加工时的切削油及洗净液残留的环境下测定
• 为了降低真空计测定子的更换频度真空装置中用

※腐蚀性气体（卤素气体）环境下使用的场合请商谈。

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■ 各模式规格：SH2-1/SH2-2可选择SH2-1/SH2-2是多离子规单体模式，皮拉尼真空计与组合模式，皮拉尼真空计及大气压传感器与三倍组合模式的3种使用方法

模式	SH2-1/SH2-2 单体模式	SH2-1/SH2-2＋SPU 组合模式	SH2-1/SH2-2＋SPU＋SAU 组合模式
测定压力范围	5×10-8〜1×10+1Pa	5×10-8〜1×10+4Pa	5×10-8〜1×10+5Pa
测定精度	5×10-8〜1×10+1Pa： ±15%	5×10-8〜1×10+3Pa： ±15% 1.0×10+3〜3.0×10+3Pa： ±30% 3.0×10+3〜1.0×10+4Pa： 不保证精度	5×10-8〜1×10+3Pa： ±15% 1.0×10+3〜3.0×10+3Pa： ±30% 3.0×10+3〜1.0×10+4Pa： 不保证精度 1.0×10+4〜1.0×10+5Pa： ±3%F.S. (3×10+3Pa･ 基准温度25ºC)
反复精度	1×10-6〜1×10-1Pa： ±2%
连接图 (例)