基于PID处理控制器的Eurotherm可以存储20套程序,每套程序可以支持高达100个步骤的设定,带USB2.0的接口。
包含UniSoft 软件,与微软Windows操作系统兼容。通过该软件,通过链接电脑可以非常方便地实现程序编辑以及数据记录。
Semco的退火炉主要包含如下三款型号:
1)JetLight
基片从前面载入/取出;
腔体尺寸:直径50mm×深度150mm;
Z高温度高达1100摄氏度;
升温速率为150K/sec;
降温速率分段控制:从1100℃到400℃,降温速率优于200K/sec。
从400℃到100℃Z大降温速率控制在30K/sec;
2)JetFirst
基片从前面载入/取出;
Z大可支持的尺寸:直径200mm基片;
Z高温度高达1000摄氏度;
升温速率为75K/sec;
降温速率分段控制:从1000℃到400℃,降温速率优于200K/sec。从400℃到100℃Z大降温速率控制在30K/sec;
3)JetStar
也可以用于污染物处理;
基片从上面载入/取出;
Z大可支持的尺寸:直径为300mm的Wafer或者300mm×300mm的基片;
Z高温度高达1000摄氏度;
升温速率为40K/sec;
降温速率分段控制:从1000℃到400℃,降温速率优于200K/sec。从400℃到100℃Z大降温速率控制在30K/sec;