MF系列微机电工业气体质量流量计是美国矽翔微机电系统有限公司采用自主研发的微功耗微机电系统（MEMS）流量传感芯片技术和计算机自适应技术历经多年专门为气体贸易计量开发。产品适用于清洁气体（如氧气、氮气等）的计量和过程控制。本产品采用质量流量测量，毋需温度和压力补偿并可配以多种信号输出，通过通讯接口实现网络管理功能。
MF系列微机电工业气体质量流量计产品特点:
·传感器灵敏度高，极小的始动流量
·传感器芯片采用热质量流量计量，无需温度及压力补偿，保障了流量计的高精度计量
·在单个芯片上实现了多传感器集成，使该流量计的量程比大大提高
·流量计可采用标准8~24V供电，也可选用厂商提供的110/220V电源适配器
·传感器零点稳定度较传统的热式质量流量计有极大的改善
·结合二次仪表的微控制职能技术，使该流量计重复性好，实现了计量准确可靠
·与传统的机械式仪表相比，压力损失大幅度减小，为用户降低了能源消耗
·采用LCD显示瞬时和累积流量，清晰直观，读数方便
·本流量计有RS485通讯模块，配合上位计算机网络可实现集中管理
·用户根据需要可以选择脉冲输出模块，可兼容现有抄表系统，每个脉冲代表0.001N立方米的流量
·表头可以限位旋转180度，以适应各种不同的安装位置
·通过国家防爆认证，标志为Ex ia IIC T4，可用于除乙炔外的各类气体
