适用于高温的质量流量控制器 SEC-2000 系列日本HORIBA高温应用的质量流量控制器
概要可以在高温环境中使用的SEC-8000/2000系列,适用于超洁净的气体供给,以及在分析ppt级别下的超微量气体的场合,在半导体、化合物半导体制程之外也有各种各样的用途。
特征· 搭载热感阀
· 作为市场份额ling先的TEOS气化供给系统LSC系列中标准的搭载模块
产品相关图及其它适用于高温的质量流量控制器 SEC-2000 系列日本HORIBA高温应用的质量流量控制器
概要可以在高温环境中使用的SEC-8000/2000系列,适用于超洁净的气体供给,以及在分析ppt级别下的超微量气体的场合,在半导体、化合物半导体制程之外也有各种各样的用途。
特征· 搭载热感阀
· 作为市场份额ling先的TEOS气化供给系统LSC系列中标准的搭载模块
产品相关图及其它
适用于高温的质量流量控制器 SEC-2000 系列
概要可以在高温环境中使用的SEC-8000/2000系列,适用于超洁净的气体供给,以及在分析ppt级别下的超微量气体的场合,在半导体、化合物半导体制程之外也有各种各样的用途。
特征· 搭载热感阀
· 作为市场份额ling先的TEOS气化供给系统LSC系列中标准的搭载模块
适用于高温的质量流量控制器 SEC-2000 系列
概要可以在高温环境中使用的SEC-8000/2000系列,适用于超洁净的气体供给,以及在分析ppt级别下的超微量气体的场合,在半导体、化合物半导体制程之外也有各种各样的用途。
特征· 搭载热感阀
· 作为市场份额ling先的TEOS气化供给系统LSC系列中标准的搭载模块