德国diener等离子表面处理设备特点:
1、等离子清洗机效果好,效率高,应用范围广
2、对清洗样品没有任何材质、外观尺寸等要求
3、等离子清洗过程中升温小,基本可达到常温处理
4、射频功率无极连续可调
5、高校的特质电极,是产生均匀等离子体的保证
6、特制电极和托盘结构,可充分利用真空腔体内部空间,使处理效率Z大化,同时也可得到全面有效的清洗
7、特有的过载、短路和过热保护电路,可保证射频电源的稳定和安全
8、设备整体模块化设计,安装与维护极为简单
Diener等离子清洗机 Zepto 参数配置:
主要技术参数:
1. *半自动控制
2. *根据工艺要求不同,可设定功率、压强、气体流量与时间等参数
3. 双路工作气体,气体流量通过针型阀流量计控制
4. 反应舱为高硼硅玻璃,Φ 211 mm、长 300 mm,容积10.5L
5. 高周波电流频率40KHz,功率0~200W
6. 反射波自动调节,无须手工调节
7. 电极材质为铝/不锈钢
8. 运行模式为手动
9. *时间控制计时器
10. 真空泵的排气能力为3.0m3/Hour,Pfeiffer
11. *配有压力传感器,可根据工艺要求设定压力值
12. 外尺寸:宽 525 mm、高 275 mm、深 450 mm
13. 电源电压:单相AC230V 16A
配置清单:
数量
备注
主机 ATTO 一台 Diener
真空泵 一台 pfeiffer
选配:
1、 真空腔体,石英材质,圆柱形,直径:211mm,长300mm(可代替参数4)
2、 真空泵排气能力为5.0m3/h,Pfeiffer(可代替参数10)