德国diener等离子表面处理设备特点:
1、等离子清洗机效果好,效率高,应用范围广
2、对清洗样品没有任何材质、外观尺寸等要求
3、等离子清洗过程中升温小,基本可达到常温处理
4、射频功率无极连续可调
5、高校的特质电极,是产生均匀等离子体的保证
6、特制电极和托盘结构,可充分利用真空腔体内部空间,使处理效率Z大化,同时也可得到全面有效的清洗
7、特有的过载、短路和过热保护电路,可保证射频电源的稳定和安全
8、设备整体模块化设计,安装与维护极为简单
Diener等离子清洗机 Zepto 参数配置:
主要技术参数:
- 手动控制
- *根据工艺要求不同,可设定功率、压强、气体流量与时间等参数
- 双路工作气体,浮球气体流量计
- 反应舱为高硼硅玻璃,Ø105 mm*L300mm,容积为2.6L
- 高周波电流频率13.56MHz,功率0~50W
- 电极材质为铝/不锈钢
- 运行模式为手动
- 真空泵的排气能力为1.6m3/Hour,配有强制进气阀
- 外尺寸:W425*D450*H185mm
- 电源电压:单相AC230V 16A
配置清单:
| 数量 | 备注 |
主机ZEPTO | 一台 | Diener |
真空泵 | 一个 | Pfeiffer |
强制进气阀 | 一个 | |
选配:
- 双路工作气体(MFC控制)(代替参数3)
- 石英玻璃舱体(代替参数4)
- 真空泵,排量为3.0m3/h(代替参数11)
Pirani pressure sensor 皮拉尼传感器