复合分子泵,是涡轮抽气级和盘型牵引压缩级组合而成的真空获得设备。涡轮抽气级具有大抽速,盘型压缩级具有高压缩比的组合,所以,该复合分子泵具有高的压缩比,从而使被抽系统获得更高的真空环境,同时,在高压强下具有稳定抽速的特性。
详细参数:
产品型号 | FF-160/620C |
进气口法兰 | DN160CF | DN160LF |
抽气速率L/S(对空气) | 600 |
压缩比 N2 H2 | >109 6×104 |
极限压强(Pa) | 6×10-8 | 6×10-7 |
排气口法兰 | KF40 |
使用轴承 | 精密陶瓷轴承 |
启动时间(min) | <6 |
额定工作转数(rpm) | 36000 |
冷却方式和水温 | 水冷,<25℃ |
安装方式 | 垂直±5° |
环境温度(℃) | 5~40 |
重量(公斤) | 29 |
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