1200开启式大管径加长温区真空气氛管式电炉的结构实用性; 真空气多工位回转炉CVD炉 氛 旋转电炉 立式管炉 快速退火炉 马佛炉
1、1200开启式大管径加长温区真空气氛管式电炉加热炉膛有上下两部分组成，其中上部炉膛可整体向后翻转110°，方便取放、观察实验物料，炉膛材料采用优质的多晶莫来纤维真空吸附制成，节能50%，温场均匀。电热元件采取高电阻优质合金丝0Cr27Al7Mo2。
2、密封法兰采用双环密封技术，有效的提高了炉管两端的气密性。气路具有进出气微量可调功能。真空气氛 旋转电炉 立式管炉 快速退火炉 马佛炉
3、两端气路支架，支撑着气路装置。有效消除了气路总成自身的应力，杜绝了因自身应力而造成的炉管损坏。CVD炉 cvd电炉 rtp炉 快速退火炉 立式电炉/管炉 石磨希电炉 RTP
4、先进的空气隔热技术，结合热感应技术，当炉体表面温升到达50℃时，排温风扇将自动启动，使炉体表面快速降温。真
国产程序 | SK-G08123K-610 | SK-G10123K-610 | SK-G12123K-610 | SK-G15123K-610 |
温区 | 大管径 |
Z高温度 | 1200℃ |
加热区长度 | 610mm |
恒温区长度 | 320mm |
加热元件 | 高电阻优质合金丝OCr27Al7Mo2 |
空炉升温时间 | <15min |
额定功率 | 4.8Kw | 6Kw |
额定电压 | 220V |
温度控制 | 国产程序控温系统可编辑50段程序控制；进口程序控温系统可编辑40段程序控制（选配）； |
控温精度 | ±1℃ |
石英管尺寸（mm） | Φ80/72x1200 | Φ100/92x1200 | Φ120/112x1200 | Φ150/142x1200 |
炉管材料 | 石英玻璃管 |
炉管Z高工作温度 | ＜1200℃ |
配置炉管时升温速度 | 500℃以下≤5℃/min; 500-800℃≤10℃/min; 800-1000℃≤5℃/min; 1000-1200℃≤2℃/min |
外形尺寸（深x宽x高） | 410x770x605mm | 480x770x675mm |
重量 | 55Kg | 85Kg |
标准配置 | 气路总成一套（含真空压力表），石英管一支，石英堵两个，石英舟一个，钩子一把，高温手套一副 |
真空/气氛总成配套（可选） | 真空控制系统: 中真空控制系统、高真空控制系统、真空测量系统； |
气路控制系统：气体浮子流量控制系统、气体质量流量控制系统； |
计算机集散控制系统； CVD电炉系统； |
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