PG15-J激光平面干涉仪
主要技术参数:
1、*标准平面(A面),不镀膜。 工作直径:D1=Φ146mm,不平度小于0.02μm(λ/30)。
2、第二标准平面(B面),不镀膜。 工作直径:D2=Φ140mm,不平度小于0.03μm(λ/20)。
3、准直系统:孔径F/2.8, 工作直径:D1=Φ146mm,焦距:f=400mm
4、测微目镜:焦距f=16.7mm,放大倍数β=15X,视场角2w=40o,成像物镜:I、D=4.5;П、D=7;Ш、D=10,f=16,f=23,f=37
5、干涉室尺寸:深260*宽300*190mm。
6、光源规格:激光ZN18(He-Ne)。
7、仪器的外形尺寸:长*宽*高 350*400*720mm。
8、仪器重量:100公斤。