供应D07-19C型质量流量控制器 北京现货
标 准:
气体质量流量用氮气(N2)标定。标准状态规定为:
标准温度………………0℃(273.15K)
标准压强………………101325Pa
输入和输出:
输入电源………………+15V,50mA;-15V,200mA
输入设定电压…………0~+5.00V
输出电压检测…………0~+5.00V
供应D07-19C型质量流量控制器 北京现货 技术参数:
满量程流量范围(N2) | 5SCCM~30SLM |
控制范围 | 2~100%F.S. |
阀类型(及阀初始状态) | 电磁调节阀(常闭) |
准确度 | ≤10SLM | ±1%F.S. |
>10SLM | ±2%F.S. |
线性 | ≤10SLM | ±0.5~1%F.S. |
>10SLM | ±2%F.S. |
重复精度 | ±0.2%F.S. |
温度系数 | Zero:≤±0.1%F.S./℃ Span:≤±0.2%F.S./℃ |
响应时间 | ≤1sec |
工作温度范围 | 5~45℃ |
工作压差 | ≤10SLM | 0.1~0.5MPa |
>10SLM | 0.1~0.3MPa |
耐压 | 3MPa |
漏气率 | 1×10-9SCCSHe |
密封材料 | 氟橡胶、聚四氟乙烯、氯丁橡胶 |
接头选择 | VCR | 1/4”或φ4hose、φ6hose |
Swagelok | 1/8”、1/4”或φ3、φ6mm |
电插头形式 | DB15 pin(Male) |
抗电磁干扰 | CE |
重量 | 1.2Kg |