真空或压力的变化造成了传感器内部的金属薄膜的位置变化，金属薄膜的变化通过一个信号处理输出电路转换成一个可用的输出信号，提供非常快速的响应速度(小于 20 毫秒) ，非常低的滞后效应，杰出的可靠性和很高的分辨率(全量程的 0.001%) ，优良的抗腐蚀能力，双面焊接的结构保证了操作的安全性。传感器本身可以承受重复的高压至 45Psia(3.1Bar)而不会有任何的漂移和变形。MKS 626B/622B 系列薄膜规是在常温下工作的，它的全量程范围从 0.1Torr 到 1000Torr，适合于工业制造，电子，研发等工业领域产品特点：● 直接测量腔体的压力值，与气体类型无关● 长期的输出稳定性保证了在任何应用中的现代技术发展的要求● 耐热的镉镍钛合金薄膜在化学反应环境中将不会有任何的损坏，包括卤素，电离水，蒸汽和臭氧● 高的可靠性保证了偶然的系统意外造成的损坏● 符合欧洲 CE，EMC 标志技术参数：测量范围：1.0*10ˉ1 到 1000 Torr 或 1.3*10ˉ1 到 1300 Mbar 或 13 到 130000 Pascal周围温度：0-50℃过压限制：45 psia响应时间：小于20毫秒电源要求：±15VDC,35ma模拟输出： 0-10VDC,线性输出测量精度：小于读数值的 0.25%。分辨率：满量程的 0.001%开机预热时间：无需安装方向：任意方向内部容积：6.3 立方厘米材质：不锈钢，铝合金(暴露于工艺腔体中部分为耐热的镉镍钛合金薄膜)重量：97 克 法兰形式：1/2”Tube,8 VCR,8VCO,KF16,KF25.
沪公网安备 31011502008050号
