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1、激光平面干涉仪的主要用途和特点 |
| PG15-J4型激光平面干涉仪是一种使用方便的光学精密计量仪器,主要用于精密测量光学平面度。仪器配有激光光源(波长为6328A)。对于干涉条纹可目视、测量读数、照相留存记录。工作时对防震要求一般。该仪器可应用于光学车间、实验室、计量室。如需配购相关的必要附件,可精密测量光学平板的微小楔角、光学材料折射率n的均匀性,光学镀膜面或金属块规表面的平面度,90o棱角的直角误差及角锥棱镜单角和综合误差。 |
2、激光平面干涉仪的工作原理 | 本仪器工作基于双光束等厚干涉原理。根据近代光学的研究结果,光兼有波动与微粒两重特性。光的干涉现象是光的 波动性的特性。 | | 3、仪器技术参数: | 1、*标准平面(A面),不镀膜。 工作直径:D1=Φ146mm 不平度小于0.02μm(λ/30)。 2、第二标准平面(B面),不镀膜。 工作直径:D2=Φ140mm 不平度小于0.03μm(λ/20)。 3、准直系统:孔径F/2.8, 工作直径:D1=Φ146mm 焦距:f=400mm. 4、测微目镜:焦距f=16.7mm,放大倍数β=15X,视场角2w=40o 成像物镜:I、D=4.5 П、D=7 Ш、D=10 f=16 f=23 f=37 5、干涉室尺寸:深260*宽300*190mm。 6、光源规格:激光ZN18(He-Ne). 7、仪器的外形尺寸:长*宽*高 350*400*720mm。 8、仪器重量:100公斤。 | |