直接热式质量流量计 直接热式质量流量计控制器
AX10FC直接热式MFC/MFM采用热式测量原理，直接用两支快速反应的铠装传感器测量气体流量。由于没有层流元件，并采用哈氏合金传感器，V10FC可用于易结晶和腐蚀性的气体测量。对低压管道或者压力损失小的应用，AX10FC也同样适用。
AX10FC直接热式MFC/MFM与其它差压原理的V10FC一样，具有三路流量/压力/温度显示和输出功能。
产品应用
产品主要用于真空,镀膜,石油化工,煤炭冶金,制气配气,环保及各种分析,科研院所实验设备。
产品特点
● 直接热式原理，无层流元件
● 无压损,抗结晶,抗腐蚀
● 适用于各种低压和高压管道
● 精确测量和控制气体的质量流量
● 预热时间短,零漂小，可靠性高
● 多种气体可选,也可自行输入
技术参数
| 技术指标 | AX10FC-RC质量流量控制器 | AX10FC-RM质量流量控制器 |
| 量程范围 | 小量程:5SCCM～10SLM 中量程:10SLM～30SLM 大量程:30SLM～2000SLM |
| 控制范围 | 控制器20：1 | 流量计20：1 |
| 准 确 度 | 流量：±3%F.S 压力：0.5% F.S 温度：±1℃
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| 线 性 | ±0.5%F.S |
| 重复精度 | ±0.2%F.S |
| 响应时间 | 100ms | 10ms |
| 数 字 量 | RS232/485，MODBUS协议
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| 模 拟 量 | 0～5V、4～20mA、1～5V
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| 供电 | 12V/24V/±15V可选
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| 工作温度 | 0～50℃ |
| 工作压力 | 工作压差：0.03～0.5MPa | 工作压降：<0.01Mpa |
| Z大耐压 | 低压1MPa，中压3MPa，高压10MPa
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| 电气连接 | DB15孔
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| 漏 率 | 1×10-9SccsHe
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| 温度系数 | ±0.015%F.S/℃
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| 底座材质 | 316L
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| 密封材料 | 氟橡胶,氯丁橡胶，丁晴橡胶
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| 接 头 | VCR1/4;swagelokφ6 |
沪公网安备 31011502008050号
