设计特点
－刚性金属结构
－流量控制范围从0 开始到10 sccm 直到0到100 slpm
－Z大压力500 psig （34.5 Bar）
－0-5伏和4-20mA信号
－泄漏率低于1 x 10-9 smL/sec 的 helium
－精度±1%
－电路保护
－计算汇总功能
主要技术参数
精度：1％FS
重复性: ±0.2% 全量程；
响应时间: 1到2 秒（ 流量不同略有差别）
温度系数: 0.1% /FC
压力系数: 0.01% 全量程/ 0.07 bar （1 psi）；
可选气压:1.73 bars （25 psig）.
Z大气压: 70 bars （1000 psia）.
气体和环境温度: 5C to 50C （41F to 122F）.
信号输出: Linear 0-5 Vdc （3000 欧姆 低阻抗负载）; 4-20 mA 供选 （500 欧姆环阻）.Z大噪音 20mV 峰对峰.
输入电源: Z大15Vdc, 450 mA;
材质：316不锈钢，416不锈钢, Viton7 O形圈；Neoprene7或 Kalrez7 O形圈可供选择.
沪公网安备 31011502008050号
