质量流量控制器 型号；HAD-D07-7B
HAD-D07-7B型 质量流量控制器
仪器简介：质量流量控制器（MFC）用于对气体的质量流量进行精密地测量和控制。广泛用于电子工艺设备、真空镀膜、 石油化工、冶金、制药、光纤熔炼、分析测量仪器、制气配气等行业。
技术参数：
满量程流量范围（N2） | 5SCCM～10SLM |
控制范围 | 2～100％F.S. |
阀类型（及阀初始状态） | 电磁调节阀（常闭） |
准确度 | ±1.5％F.S. |
线性 | ±0.5～1.5％F.S. |
重复精度 | ±0.2％F.S. |
响应时间 | ≤7sec |
工作温度范围 | 5～45℃ |
工作压差 | 0.1～0.5MPa |
耐压 | 3MPa |
漏气率 | 1×10-8atm.cc/sec He |
密封材料 | 氟橡胶（或氯丁橡胶） |
电插头形式 | DB15 pin（Female） |
接头选择 | VCR 1/4”或φ4hose、φ6hose
Swagelok 1/4”或φ6、φ3 |
重量 | 1.1Kg |
