质量流量控制器 型号；HAD-D07-7B HAD-D07-7B型 质量流量控制器仪器简介：质量流量控制器（MFC）用于对气体的质量流量进行精密地测量和控制。广泛用于电子工艺设备、真空镀膜、 石油化工、冶金、制药、光纤熔炼、分析测量仪器、制气配气等行业。技术参数：
满量程流量范围（N2）
5SCCM～10SLM
控制范围
2～100％F.S.
阀类型（及阀初始状态）
电磁调节阀（常闭）
准确度
±1.5％F.S.
线性
±0.5～1.5％F.S.
重复精度
±0.2％F.S.
响应时间
≤7sec
工作温度范围
5～45℃
工作压差
0.1～0.5MPa
耐压
3MPa
漏气率
1×10-8atm.cc/sec He
密封材料
氟橡胶（或氯丁橡胶）
电插头形式
DB15 pin（Female）
接头选择
VCR 1/4”或φ4hose、φ6hose Swagelok 1/4”或φ6、φ3
重量
1.1Kg
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