功能
流量计/控制器
基本型号
LF400-S
满量程流量范围(N2)
SCCM
0~5,10,20,30,50,100,200,500
SLM
0~1, 2, 3, 5, 10, 15, 20, 30
精度(%F.S)
±1(≤15SLM)
±1.5(>15SLM.)
控制阀动作型式
常闭式
线性(%F.S.)
±0.5~1(≤15SLM)
±1.5%(>15SLM.)
重复精度(%F.S.)
±0.2
响应时间(sec)
≤1
流量输出信号
0-+5.00V
流量设定信号
电器接头
DB15 pin(接头)
工作环境温度
(℃)
5~45
工作压差
(MPa)
0.1~0.5
漏率
SCCSHe
1×10-9
Z大耐压
3MPa
介质接触材质
304,316,316L
密封材料
氟橡胶,硅橡胶,橡胶,聚四氟乙烯
接头
VCR " 1/4、1/2
Swagelok1/8”、1/4” 、3/8” 、1/2”或φ3、φ6、φ8、φ10、φ12mm
接头和尺寸
Φ6mm,1/4"Swagelok:127×28×100mm
1/4"VCR:127×28×100mm
电源要求
+15V,50mA;-15V,200mA
重量
1.0KG
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