DH-RM-1 射频磁控溅射镀膜装置

1.射频磁控溅射镀膜装置 型号：DH-RM-1
主要用途：本设备主要用于大专院校研究和开发纳米级单层膜；如各种硬质膜、金属膜；也可以是非金属、化合物等薄膜材料。可以进行直接溅射，亦可以实现反应溅射。
主要特点：结构简捷、操作简便，真空度维护高，安全可靠。
镀膜机应安装在干净无尘埃、无腐蚀性气体的室内，并具备清洁水源、及220V的稳定电压等条件的地方。
1、地面的基本水平度要经过调整，不得高低不平；
2、环境温度：10℃～30℃；
3、相对湿度：不大于75%；
4、耗水量（进水温度≤25℃，2.5Kg≥水压≥1.5Kg）：约0.2T/h；
5、水质要求：
矽酸硬度<6度，PH值：7－8，电导率：200us/cm,沉积率：<200mg/L。
6、电压： 220V，50HZ，
电压波动范围： 198～231V；
频率波动范围：49～51Hz;
7、水压：0.3～1Kg/cm2或0.03～0.1MPa/cm2;
8、充入气体纯度99.9%或以上;
9、镀膜用耗材纯度99.9%或以上。
设备规格参数
1.1、溅射处理室：
       1、钟罩：内径225mm×高度260mm；
       2、试样台：直径80mm（Z大）；
       3、试样旋转：静止；
       4、挡板：手动；
       5、衬底加热器：不锈钢加热器（DC24V）；
       6、衬底温度范围：室温～200℃；
       7、衬底可调距离：20mm～60mm；
       8、溅射室极限真空：0.5Pa
1.2、真空系统：
       1、抽气系统：由机械泵组成的一级真空系统；抽气速率：4升/S
       2、真空检测：电阻真空计、电阻规；
       3、常用真空度：1～20Pa
       4、操作：手动
1.3、溅射电源：
1、射频电源：频率13.560MHZ,功率：500W，用表指示；
2、阻抗匹配器范围：（2.7～45）Ω-j（0～70）Ω； 
3、供电：AC 220V；
4、冷却方式：风冷；
  1.4、 磁控靶：
1、靶材直径：Ф50mm、 一个永磁靶；
2、靶材厚度：3～6mm；
1.5、进气系统：2路转子流量计进气，
1.6、电源要求：AC 220V  50Hz  10A
1.7、气体要求：氩气--纯度99.9%(样品有特殊要求时使用高纯)
1.8、冷却要求：靶体水冷，溅射电源风冷
1.9、体积重量：体积：L550mm×W680mm×H1480mm；约120kg
2.微型浮球液位控制器/液位控制器 型号:LP-UQK-73系列
特　点： 用于各类微型液体容器的液位测量，能用于高温、防爆、防腐、食品饮料等场合作液位越限控制。浮球直径ф50。
LP-UQK-73型系列微型浮球液位控制器（控制型浮球式液位计
产品技术指标
产品型号： LP-UQK-73型系列微型浮球液位控制器（控制型）
特　　点： 用于各类微型液体容器的液位测量，能用于高温、防爆、防腐、食品饮料等场合作液位越限控制。浮球直径ф50。
Z大工况： Pn ≤0.25Mpa 　T≤+120℃
介质密度： ≥0.7T/m3
测量点数： 多4点 　　少1点
绝缘强度： 1.5KV正弦电压历时60秒无击穿
测量范围： 0～1200mm 　≥1200协商供货
测量精度： ±10mm测点位置
防护等级： IP65
防爆等级： dⅡBT3
传输方式： 开关量
触点容量： 0.1 220V AC. 阻性负载
安装尺寸： GB9123.7 Pn1.0 Dn50 法兰式 GB9123.7 Pn1.0 Dn25 法兰式M20×1.5 镙纹联接
ф12 U形夹 架装式浮球直径ф50。
3.超声物位开关 /物位开关 型号:LP-ULS 200
LP-ULS 200 是一个低成本的两点超声物位开关，可以检测液体、浆体和固体物位。采用非接触式的原理，可以有效的测量固体颗粒的物位，Z大距离3m，液体和浆体，Z大距离5m。与接触式物位开关不同，传感器上不会有挂料或堵塞，消除了许多因使用浮子式和吹气式等接触式仪表而引起的问题。
---- LP-ULS200采用一体化设计，传感器和电子部件被密封在坚固的外壳中。由于没有可动部件，它可以实现真正的免维护操作。
---- 传感器采用了抗化学腐蚀Tefzel®或Kynar-Flex®材料，使之在化工、石化、水和水处理等领域得到广泛的应用。LP-ULS200的卫生型，带一个工业标准法兰选件，使它可以很容易地拆下清洗，满足了食品、饮料、制药等行业的加工要求。LP-ULS200显著地减少你的维护、停工和设备更换的成本。
LP-ULS 200超声物位开关
产品技术指标
产品特点
非接触式物位开关，测量液体、浆体和固体颗料。
内藏式温度补偿 交、直流供电
2点开关量输出用于高-高，高，低和低低物位报警
电子设备提供故障安全功能
螺纹和具有3A认证的卫生过程连接
Type 6/NEMA 6/IP67聚碳酸酯外壳或铝制外壳
简单的两键编程
易于安装和维护
北京恒奥德仪器仪表有限公司
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