SJ6000 激光干涉仪

一、产品描述
SJ6000采用美国进口高稳频氦氖激光器、激光双纵模热稳频技术、高精度环境补偿模块、几何参量干涉光路设计、高精度激光干涉信号处理系统、高性能计算机控制系统技术，实现各种参数的高精度测量。通过激光热稳频控制技术，实现快速(5~10分钟)、高精度(0.05ppm)、抗干扰能力强、长期稳定性好的激光频率输出，采用不同的光学镜组与激光配合，得到不同的干涉信号，然后通过高精度激光干涉信号处理系统得到干涉数据，将数据通过计算机进行显示和动态分析。
使用时，操作者先按照设计的几何光路安装相配合的镜组，几何光路是以迈克尔逊型激光干涉仪原理为基础设计的，下图是迈克尔逊干涉仪的基本原理图：
迈克尔逊干涉仪的原理是一束入射光分为两束后各自被对应的平面镜反射回来，这两束光从而能够发生干涉。干涉中两束光的不同光程可以通过调整干涉臂长度以及改变介质的折射率来实现，从而形成不同的干涉图样。干涉条纹是等光程差点的轨迹，因此，要分析某种干涉产生的图样，必求出相干光的光程差位置分布函数。
搭建好几何光路后，在检定软件上设定测量的开始、结束位置，点击“开始”按钮，软件界面会实时显示测量所得动态数据；扫描结束后，操作者可通过对测量所得数据曲线进行分析，得到如长度、角度、直线度、垂直度、平面度等参数。并根据系统内置的检测标准对被测件的各项参数进行合格判定，检测结束后自动生成检定结果。
二、技术参数