SJ6000 SJ6000激光干涉仪

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　　激光干涉仪以光波为载体，其光波波长可以直接对米进行定义，且可以溯源至国家标准，是迄今公认的高精度、高灵敏度的测量仪器，在高端制造领域应用广泛。

　　SJ6000激光干涉仪集光、机、电、计算机等技术于一体，产品采用进口高性能氦氖激光器，其寿命可达50000小时；采用激光双纵模热稳频技术，可实现高精度、抗干扰能力强、长期稳定性好的激光频率输出；采用高速干涉信号采集、调理及细分技术，可实现Z高4m/s的测量速度，以及纳米级的分辨率；采用高精度环境补偿模块，可实现激光波长和材料的自动补偿；采用高性能计算机控制系统及软件技术，支持中文、英文和俄文语言，友好的人机界面、向导式的操作流程、简洁化的记录管理。

　　SJ6000激光干涉仪具有测量精度高、测量范围大、测量速度快、Z高测速下分辨率高等优点，结合不同的光学镜组，可实现线性测长、角度、直线度、垂直度、平行度、平面度等几何参量的高精度测量。在SJ6000激光干涉仪动态测量软件配合下，可实现线性位移、角度和直线度的动态测量与性能检测，以及进行位移、速度、加速度、振幅与频率的动态分析，如振动分析、丝杆导轨的动态特性分析、驱动系统的响应特性分析等。

二.激光干涉仪功能

1.自动螺距误差补偿。SJ6000激光干涉仪不仅能自动测量机器的位置精度，而且还能通过RS232接口使计算机和数控系统实现通信，对误差进行自动补偿。它比通常的手工补偿方法节省了大量的时间，同时可Z大限度地选用被测轴上的补偿点数，使机床达到Z佳精度。
2.回转坐标精度标定。回转坐标分度精度标定可对数控转台在任意角度位置，以任意测量间隔进行自动测量及补偿。
3.机床动态特性测试与评估。利用中图动态特征测量与评估软件，可用干涉仪进行杌床振动测试与分析、滚珠丝杠的动态特性分析、伺服驱动系统的响应特性分析、导轨的动态特性（低速爬行）分析等，从而帮助用户对机器源进行分析。
4.触发脉冲输入、输出功能。利用触发脉冲输入，可实现外部控制激光干涉仪记录数据，从而可实现类似于激光丝杠动态精度检查仪的功能或机床传动链精度检查功能。利用触发脉冲输出，可用激光干涉仪定时或定距发出脉冲，从而实现类似于激光光刻机的功能。
5.其他用户接口装置。可用中图公司提供的特殊接口软件，对于现有某些品Pai的电子水平仪或数字指示仪器的用户，配合中图激光干涉仪校准软件，实现直线度、平面度及垂直度等几何精度的检测，从而节省用户投资费用。

三.激光干涉仪工作原理

一个角锥反射镜紧紧固定在分光镜上，形成固定长度参考光束。另一个角锥反射镜相对于分光镜移动，形成变化长度测量光束。

从激光头射出的激光光束(1)具有单一频率，标称波长为0.633µm，长期波长稳定性（真空中）优于0.05ppm。当此光束到达偏振分光镜时，被分成两束光—反射光束(2)和透射光束(3)。这两束光被传送到各自的角锥反射镜中，然后反射回分光镜中，在嵌于激光头中的探测器中形成干涉光束。

如果两光程差不变化，探测器将在相长干涉和相消干涉的两端之间的某个位置观察到一个稳定的信号。如果两光程差发生变化，每次光路变化时探测器都能观察到相长干涉和相消干涉两端之间的信号变化。这些变化（条纹）被数出来，用于计算两光程差的变化。测量的长度等于条纹数乘以激光波长的一半。

应当注意到，激光波长将取决于光束经过的空气的折射率。由于空气折射率会随着气温、压力和相对湿度的变化而变化，用于计算测量值的波长值可能需要对这些环境参数的变化进行补偿。在实践中，对于技术指标中的测量精度，只有线性位移（定位精度）测量需要进行此类补偿，在这种情况下两束光的光程差变化可能非常大。

四.激光干涉仪管理使用规定

1、 激光干涉仪必须定人保管，机加技术组人员专人专用，专人送检，他人不得

随意动用，以防损坏，降低精度。 

2、 激光干涉仪要设置专库存放，环境要求干燥、通风、防震、防雾、防尘、防锈。仪器应保持干燥。各种仪器均不可受压、受冻、受潮或受高温，仪器箱不要靠近火炉或暖气管。 

3、 对仪器要小心轻放，避免强烈的冲击震动，安置仪器前应检查三脚架的牢固性，整个作业过程中工作人员不得离开仪器，防止意外发生。 

4、 激光干涉仪应避免在温度变化大、有风、潮湿环境下测量，此时检测结果将收到很大的影响。 

5、 中图仪器干涉仪所配用的笔记本为专用笔记本，该笔记本不得外借，也不能安装任何其他软件，防止软件冲突和病毒，保障测量数据的准确，以防测量数据丢失。 

6、 测量人员在拿取干涉仪之前，需先填写激光干涉仪使用申请单，填写申请表后，负责人需先检查干涉仪器件完整与否，器件是否良好。然后再得到部门领导签字后，方可使用激光干涉仪。对其他部门人员如借用激光干涉仪，需填写借用干涉仪使用申请单，负责人需先检查干涉仪器件完整与否，器件是否良好。然后再得到部门领导签字后，方可借用激光干涉仪。当干涉仪使用后，将要存库时，负责人必须点清器件，且所有器件良好，此时才能将干涉仪入库备案。 

7、 负责人要每月对激光干涉仪的器件进行清点，并查看是否有损坏、磨损等异常情况，将检查报告予以备案。