干涉仪SJ6000 中图仪器CHOTEST+激光干涉仪SJ6000

SJ6000 激光干涉仪

激光干涉仪以光波为载体，其光波波长可以直接对米进行定义，且可以溯源至国家标准，是迄今公认的高精度，高灵敏度的测量仪器，在高端制造领域应用广泛。

SJ6000激光干涉仪具有测量精度高，测量范围大，测量速度快，测速下分辨率高等优点，结合不同的光学镜组，可实现线性测长，角度，直线度，垂直度，平行度，平面度等几何参量的高精度测量。在SJ6000激光干涉仪动态测量软件配合下，可实现线性，角度和直线度的动态测量与性能检测，以及进行位移分析，速度分析，加速度分析，FET分析，如丝杆导轨的动态特性分析，振动分析，驱动系统的响应特性分析等。

SJ6000功能特点 1.精度高 SJ6000激光干涉仪以干涉技术为核心，其光波可直接对米进行定义。采用激光双纵模热稳频技术，可实现高精度，抗干扰能力强，长期稳定性好的激光频率输出;采用高精度环境补偿模块，可实现激光波长和材料的自动补偿；干涉镜与主机分离设计，避免干涉镜受热影响 ，保证干涉光路稳定可靠。

2.功能广（1）可实现线性，角度，直线度，垂直度，平行度，平面度，回转轴等几何参量的高精密测量。（2）可检测数控机床，三坐标测量机等精密运动设备其导轨的线性定位精度，重复定位精度等，以及导轨的俯仰角，扭摆角，直线度，垂直度等；（3）可实现对机床回转轴的测量与校准；（4）可根据用户设定的补偿方式自动生成误差补偿表，为设备误差修正提供依据；（5）支持手动或自动进行环境补偿。

3.软件强  （1）友好的人机界面；（2）丰富的应用功能模块；（3）向导式的操作流程；（4）简洁化的记录管理；（5）支持中文简体，中文繁体，英文和俄文界面；（6）支持企业专属模板定制。

4.标准多 内置13份标准，包含GB，ISO，英标，美标，德标，日标等国内外通用标准。可根据各种不同的机床标准分析处理数据，并可打印相应的曲线图和数据报告。

技术指标：

系统性能：1.稳频精度：0.05ppm

2.动态采集频率：50kHz

3.预热时间：≤6分钟

4.工作温度范围：（0-40）℃

5.环境温度范围：（0-40）℃，环境湿度：（0~95）%RH

6.存储温度范围：-20℃~70℃

环境补偿示值误差：1.空气温度传感器:±1.0℃(0-40) ℃，分辨率0.01 ℃

2.材料温度传感器：±1.0℃(0-55) ℃，分辨率0.01 ℃

3.空气温度传感器：±5%RH（0-95）%RH

4.大气压力传感器：±0.1kPa(65-115)kPa

线性测量：1.测量距离：（0-80）m(无需远距离线性附件)

2.测量精度：0.5ppm（0-40）℃

3.测量分辨率：1nm

4.测量ZD速度;4m/s

角度测量：1.轴向量程：（0-15）m

2.测量范围：±10°

3.测量精度：±（0.02%R+0.1+0.024M）″(R为显示值，单位：″；M为测量距离，单位：m)

4.测量分辨率为：0.1″

平面度测量：1. 轴向量程：（0-15）m

2. 测量范围：±1.5mm

3.测量精度：±（0.02%R+0.02M²）µm (R为显示值，单位：µm；M为测量距离，单位：m)

4.基板尺寸：180mm可调，360mm可调

5.测量分辨力：0.1µm

直线度测量：

垂直度测量：

回转轴测量：

1. 型号：WR50自动精密转台      5.转速：10rpm
2. 角度测量范围;（0-360）°     6.重量：1.9kg
3. 测量精度;±1″               7.供电方式;可充电锂电池
4. 分辨力：0.1″                8.通电方式：无线蓝牙传输