台阶仪ET4000 日本小坂KOSAKA+台阶仪ET4000

KOSAKA LAB ET4000A 微细形状测定机（探针接触式台阶仪） 株式会社小坂研究所（KOSAKA）是于 1950 年创立的公司，为日本*家发表表面粗 糙度计的厂商，公司具有悠久历史与专业的技术背景。 公司主要有测定/自动/流体三大部门。其中测定部门为代表性单位且在日本精密测 定业占有一席无法被取代的地位。探针接触式微细形状测定机（表面轮廓台阶仪） 特点： l JJ的台阶再现性与线性度。 l 超高直线度保证，可确保量测图形不受移动轴影响，并可在保证直线度的前提下长距离 量测，同时解析表面翘曲度、波纹度、内应力等。 l 采用超低噪音直动式传感器 LVDT（差动变压器），超低测定力的触针可对应各类型样 品表面。 l 配备高分辨率的 CCD 即时进行高精度定位测量，实时观测测量过程。 l 中文化软件除台阶分析外并具有粗糙度解析功能，可对应各种国际规范，测定参数多达 60 多种。 l 适用于各种与微米、纳米材料有关的 MEMS、光电子、精加工表面、生物医学器件、薄 膜/化学涂层以及平板显示等的膜厚、台阶、段差测量。技术参数： 一、测定工件： 1. 工作台尺寸 220mm×220mm 2. ZD工件尺寸 210mm×210mm 3. ZD工件厚度 50mm 4. ZD工件重量 2kg 二、检出器（pick up）： 1. Z 方向测定范围 Max. 100µm 2. Z 方向分解能 0.1nm 3. 测定力 0.5uN ~500uN(0.05mgf~50mgf) 4. 触针材质、半径、夹角 钻石、0.5 , 2 µm、60%夹角 5. 驱动方式 直动式 6. 再现性 1σ= 0.5nm(全量程)、1um 以下台阶重现性可达 0.2nm 以下 三、X 轴 (基准轴)： 1. 移动量(ZD测长) 100mm 2. 移动的真直度 0.005µm/5mm 3. 测定速度 0.005 ~ 2mm/S 4. 位置定位时速度 Max. 10mm/S 5. 线性尺(linar scale) 分解能 0.01µm 6. 位置定位再现性 ± 5µm 四、Y 轴(位置决定用)： 1. 移动量 52mm 2. 移动速度 max.3mm/S 3. 检出器自动停止机能 六、工件台： 1. 工件台尺寸 220mm×220mm 2. 自动倾斜量 X: ± 1mm/150mm Y: ± 1mm/150m 七、全自动量测功能 八、工件观察装置 max. 80 倍(可选购其它高倍率 CCD) 九、床台 材质为花岗岩石 十、防振台(选购) 落地型或桌上型 十一、电源 AC100V±10%,50/60HZ,800VA 十二、本体外观尺寸 W660×D580×H660mm(不含防震台) 十三、本体重量 一体花岗岩结构约 220Kg(不含防震台及解析部份)