加工定制:否 | 类型:台阶仪 | 品Pai:日本Kosaka |
型号:ET4000 | 测量范围:测量物件表面三维形貌 | 外形尺寸:W660×D580×H660mm(mm) |
适用范围:测量物件表面三维形貌 | | |
Kosaka系列接触式台阶仪采用电感位移传感器作为敏感元件,具有再现性与线性度、高解析度、低测定力、超高真直度等显著优点。广泛用于机械、材料、化学、光电和半导体的研究和生产领域。 大连瑞闻科技有限公司是日本Kosaka台阶仪的专业代理商,为您提供Kosaka各种型号接触式台阶仪。下面以精密型ET-4000系列为例加以说明。1、ET-4000系列具有以下显著优点:(1)高精确性、稳定性和重复性;(2)适合用于自动测量FPD、晶片、磁盘,和与纳米材料相关物件的表面特性、台阶高度和粗糙度。2、测定工件要求Z大尺寸:210×210mm~300×400mm倾斜度:±1mm/150mmZ大重量:2kg3、检测器(1)测定范围:100μm(2)传感器:位移传感器(3)测定力:0.5uN~500uN(0.05mgf~50mgf)(4)触针半径:2μm(5)再现性:1σ0.5nm4、X轴(基准轴)(1)移动量(Z大测长):100mm(2)移动的真直度:0.005μm/5mm(0.1um/100mm)(3)移动、测定速度:0.005~2mm/s(4)重现性:±5μm5、Y轴(1)移动量:150~400mm(2)移动的真直度:5μm/150mm(3)重现性:±5μm6、Z轴移动量:52mm7、放大倍数垂直:50~2000000,水平:1~100008、监测系统照相机:1/2inch CCD(768×494 pixels),并配套数据采集卡9、床台:材质为花岗岩石10、防振台(选购):落地型或桌上型11、电源:AC100V±10%,50/60HZ, 800VA10、外观尺寸及重量:W660×D580×H660mm,200kg(不含防振台),不同型号尺寸和重量会有差异