耐高压型气体质量流量控制器/流量计产品介绍：本公司生产的热式气体质量流量计/控制器，为精度高、响应快、稳定性好、性价比高的自动测控产品，其流量精度不受气体压力、环境温度的影响，适用于过程控制中的气体流量的精密测量和控制。产品系列完整，可选择数字式、模拟式、普通型、高精度型、耐高压型，超大流量型，应用领域广泛，可用于真空及高压等特殊领域
产品特点：
产品用途：
广泛用于电子工艺设备、真空镀膜、石油化工、冶金、制药、光纤熔炼、分析测量仪器、制气配气等行业。
技术参数：
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产品型号 |
LF420-F（模拟型） |
LF485-F（数字型） |
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满量程范围 |
SCCM 0～5，10，20，30，50，100，200，500 SLM 0～1, 2, 3, 5, 10, 15, 20, 30 |
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量程比 |
控制器50:1 |
流量计100:1 |
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精度 |
±1.0%F.S |
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线性 |
±0.5%F.S |
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重复性 |
±0.2%F.S |
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阀门类型 |
常闭阀 |
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响应时间 |
≤1S-3S |
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工作压差 |
0.1...0.5Mpa |
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耐压 |
10MPa |
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工作环境温度 |
5...45℃ |
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泄漏率 |
1×10-8Pa.m3/s |
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通信信号 |
0-5V / 4-20MA / RS232-485 MODBUS协议 |
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供电方式 |
24VDC（250mA） |
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密封材料 |
丁晴橡胶 氟橡胶 |
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接头尺寸 |
3mm 6mm 8mm 10mm 1/8” 1/4” 3/8” |
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电器接头 |
DB15针 |
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