特性:DSN-B型 MFC/MFM
(气体-流量范围30-200SLPM)
本产品采用“激光分选”工艺制作的微型传感器,气体层流结构精密均匀,高耐腐蚀,使得MFC具有更优越的性能优势:
1.高的可靠性、稳定性和重复性。
2.高精密的控制机构。
3.高速响应 MFM< 0.5秒; (MFC通常< 4s)。
4.长寿命(正常使用可达十年以上)。
5.采用微小尺寸的传感器,消除了“传感器”本身热效应对层流的破坏,“零点漂移”小于1%。
6.可自行清除工作过程中的表面污物(注:此项操作须在生产厂家进行)。
7.适应于一切气体(包括腐蚀性气)。
8.一体化设计,优越的抗电磁干扰性能。