美国AJA ATC-B系列批量镀膜系统

AJA国际公司ATC-B系列批量镀膜机是专为处理小批量基片定制改造的溅射系统。的系统配置取决于用户实际需求。对于向上或向下溅射，通常会配置立式气缸室。卧式或矩形，内嵌是气缸室则应用于卧式溅射系统。通常侧溅射需要更长的工艺时间，由于材料形成没有机会落到基片上或落到磁控溅射源里，因此需要中断工艺。

为了优化这些系统，AJA的工程师们能够设计出标准和定制化溅射源盒基片支架来满足应用的特殊需求。例如一款ATC-B卧式气缸就配置了特殊的磁控溅射源，它能够持续4天工艺流程正常运行。

AJA致力于研发生产薄膜沉积系统，包括磁控溅射系统，电子束蒸发系统，热蒸发系统和离子束刻蚀系统。1989年William Hale在美国马萨诸塞州创立了AJA这个品Pai，开始是以物理气相沉积产品供应商问世。随着越来越多的系统和磁控溅射源畅销世界，AJA国际公司不断突破自己，发现更多创新设计解决方案。其中一些方案一直被模仿，但从未被超越。AJA始终保持着薄膜技术领域的前沿地位。

AJA大中华区总代理-重庆眺望科技有限公司